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物理系製程實驗室

物理系製程實驗室

實驗室位於物理館112教室,為國內少有黃光室教學場域。實驗室總面積270m2皆為環氧樹脂潔淨室地板;當中88 m2 為黃光製程區及182 m2為白光檢測區;且兩區域由光學視窗作分隔。

 

本場域原為近代物理實驗室,能執行之實驗皆為百年前之經典實驗,某程度上已與近代實驗脫節。經翻修後變更為製程實驗室,為國內少有黃光室教學場域。實驗室總面積270 m2皆為環氧樹脂潔淨室地板,能符合潔淨室實驗之大部份需求;當中88 m2 為黃光製程區及182 m2為白光檢測區;且兩區域由光學視窗作分隔。整合物理系統原有資源、退休老師及廠商損贈之設備,目前共有12項通用設備(如括超純水淨化器、旋轉塗佈機、i-line曝光機、直流/射頻濺鍍機等微影術必需設備及一些週邊檢測設備如膜厚儀…等)及2項專用設備(大立光損贈電子束沉積機及隆達電子損贈之高功率雷射切割機)。根據教師們之專長,目前已增設8個新穎實驗(持續擴增中),包括:微影術、微流道製作、真空技術、金屬/氧化物薄膜沉積、薄膜電性量測、光學膜厚量測、軟模轉印、雷射雕刻。部份技術亦為尖端工業之核心技術。

課程方面,自2018至2019年共支援11門課程,共計249位學生修課。同時秉持善用資源之精神,該場域亦於課餘時間支援本校研究生及大學部專題生進行研究,2019年有1068使用人次。無形中亦支持了一定比例之同學於理學院盃、物理系教具競賽及物理年會中張貼海報;部份同學亦於全國物理年會中獲得壁報論文佳作奬。另外,本場域亦於2018年7月受民視採訪拍攝「看見教育在進步」。

621301 嘉義縣民雄鄉大學路一段168號 電話:05-2720411 分機:61001 E-mail: science@ccu.edu.tw Copyright©2020 國立中正大學理學院 瀏覽人數 43267 人
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